一、產(chǎn)品概述

1.1基本功能和依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)：

WXSZ-C型多功能數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理測試材料電阻率/方塊電阻的多用途、智能化綜合測量儀器。該儀器設(shè)計(jì)符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》等并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。 

1.2 儀器成套組成：由XGSZ-C四探針主機(jī)、選配的四探針探頭、選配四探針測試臺(tái)等部分組成。

1.3優(yōu)勢特征：

1：本測試儀特增設(shè)測試結(jié)果自動(dòng)分類功能，最大分類10類。

2：可定制 USB通訊接口，便于其拓展為集成化測試系統(tǒng)中的測試模塊。

3：8檔位超寬量程，行業(yè)領(lǐng)先。 同行一般為五到六檔位。

4: 儀器小型化、手動(dòng)/自動(dòng)一體化。

5: 儀器操作簡便、性能穩(wěn)定，所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤輸入，簡便而且免除模擬定位器的不穩(wěn)定。

1.4探頭選配：根據(jù)不同材料特性需要，探頭可有多款選配。詳情見《四探針探頭型號(hào)規(guī)格特征選型參照表》

1配高耐磨的碳化鎢探針探頭，如C-F01型，以測試硅等半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻；

2配不傷膜的球形或平頭鍍金銅合金探針探頭，如B-F01型，可測金屬箔、碳紙等導(dǎo)電薄膜，也可測陶瓷、玻璃或PE膜等基底上導(dǎo)電涂層膜，如金屬鍍膜、噴涂膜、ITO膜、電容卷積膜等材料的薄膜涂層電阻率/方阻。

3配專用箔上涂層探頭，如B-F02型，也可測試鋰電池電池極片等箔上涂層電阻率/方阻。

4換上四端子測試夾具，還可對電阻器的體電阻進(jìn)行測量。。

1.5適用范圍：儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校四探針法對導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測試。

二、基本技術(shù)參數(shù)

 測量范圍

1、電阻率：10-6～2X105 Ω .cm

2、方塊電阻：10-5～1X106 Ω /￡

3、電阻：10-5～2X106 Ω

2. 材料尺寸(由選配測試臺(tái)和測試方式?jīng)Q定)

直    徑： 測試臺(tái)直接測試方式180mm×180mm

長(高)度：  測試臺(tái)直接測試方式 H≤100mm,    .

測量方位:  軸向、徑向均可

數(shù)字電壓表:量程20.00mV~2000mV

3.3 量程劃分及誤差等級(jí)

注： 電流精度 ±0.1%

 3.4 四探針探頭（選配其一或加配全部）

(1)碳化鎢探針：Φ0.5mm，直線探針間距1.0mm，探針壓力: 0～2kg 可調(diào)

(2)薄膜方阻探針：Φ0.7mm，直線或方形探針間距2.0mm，探針壓力: 0～0.6kg 可調(diào)

 3.5. 電源

輸入: AC 220V±10% ,50Hz  功 耗：<20W

 3.6.外形尺寸、重量：

主   機(jī)： 220mm（長）×245 mm（寬）×100mm（高），     凈   重：≤2.5kg